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产品详细介绍

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输入电压 AC220V（±10V)/AC380

电源功率 1KW-5KW

电压频率 40kHz/13.56MKz

腔体容量 125L—200L（可选）

使用气体二路工艺气体配置（可用气体：氩气、氧气、氮气、空气）
控制系统 PLC触摸屏
过程控制自动与手动方式

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