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等离子蚀刻机 射频等离子清洗机

小型等离子蚀刻机,电子产品,晶圆等蚀刻。
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产品详细介绍
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GD-10RF系列等离子清洗机定位于小规模生产及各大院校科学实验使用,广泛应用于电子、太阳能、汽车、纺织、包装印刷、生物医疗及通用行业,其特点为处理效率高、重复性和稳定性良好,操作方便,工艺参数多样性,执行多样化任务,适用于清洗、活化、提高粘结力、附着力及刻蚀等工艺,并可根据客户不同需求量身定制专业、高效、稳定的解决方案。

产品名称
真空等离子蚀刻机
产品型号 GD-10RF

控制系统

PLC+触摸屏
电源频率 13.56MHz
供电电源 AC220v(±10V)
电源功率 300W(可调)
气体路数 2路浮子流量控制
过程控制 自动与手动方式
内腔尺寸 200*250*200mm(W*D*H)
载物规格 175*185(W*D)共三层
外形尺寸 600*560*600mm(长*深*高)
腔体容积 10L
真空度 30-100Pa
可通入气体                                         氩气、氧气、氮气、空气、氢+氮气(混合气体)等

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