600mm清洗单元（U2V/2UV)

如今，洁净技术已广泛应用于生产各行各业的产品或其他需要防止颗粒污染和微生物污染的环境控制。比如生产手机电子元件的无尘车间，空气净化的主要目的是去除空气中悬浮的尘粒，创造清洁的工作环境，保证产品的高质量、高精度、高纯度和高产量。

在电子产品领域，电子元器件从电子管到半导体分离器件到集成电路，仅集成电路的线宽就从几微米增长到大约0.1微米，比如生产上的贴片、曝光、蚀刻、检查等制程前段，因此需要一个小型化、精密化的生产环境。

在除尘之前先由静电消除装置除去表面静电，然后经由特殊设计的除尘单元打破了灰尘和材料的边界层，由除尘单元产生超声波气流振动,材料表面粉尘产生松动后被除尘单元真空吸力吸走，从而达到除尘的作用。

非接触式除尘装置特性和优点及工作原理：

1、非接触式结构避免材料损伤。超声波可打破空气粘滞层，彻底清除极小颗粒（1.6um以上）的灰尘。

2、从除尘单元吹出的气流得到充分的应用，控制了整个气流和真空，从而保证了持续的清除性能不受材料厚度的影响。

3、高效的气流控制，一些低压气流也能得到应用，减小了损耗。

4、非接触式的清洗方式使被清洗的工件免被划伤或损坏。

5、闭环系统不会破坏生产车间（洁净室）的气流平衡。

6、不需要高额的消耗品，如高纯水或化学药剂等，同时不需要后续的烘干，降低了生产成本并缩短了生产线长度。